金属硅粉与氯苯在铜催化体系存在下，在流化床或搅拌床反应器中，450 °C〜550 °C 下反应：
由于氯苯上氯原子活性不高，需要在高温及大量铜催化剂（Si : Cu=l : 1)及锌等助催化 剂及四氯化硅促进下才能反应。苯基三氯硅烷和二苯基二氯硅烷的收率合计可达60%。
直接法合成苯基氯硅烷近期的技术进展是金属硅粉与锡化合物为主体，配合铜、锌、 锑、磷等化合物作助催化剂制成的融体与氯苯在450 °C反应，收集的产物中，苯基三氯硅 烷和二苯基二氯硅焼合计质量分数在37%以上。比通常的铜为主体的催化体系反应活性 高，联苯等副产物可显著减少，硅的利用率显著提高，可以不用或少用资源有限的铜。