苯基氯硅烷是在数量上及重要性上仅次于甲基氯硅烷的有机硅单体。引入苯基可使有机 硅材料的耐热性、耐辐射性、润滑性及与有机髙聚物的相容性得到改善。苯基三氯硅烷、二 苯基二氯硅烷、甲基苯基二氯硅烷是制造甲基苯基硅树脂的原料，将其醇解制得的苯基三烷 氧基硅焼、二苯基二烷氧基硅烷、甲基苯基二烷氧基硅烷是有机硅材料的重要中间体。二苯 基二氯硅烷经水解制得的二苯基硅二醇是热硫化硅橡胶胶料配制中普遍使用的结构化控制 剂；进一步缩合制成的八苯基环四硅氧烷是制造甲基苯基乙烯基硅橡胶生胶的原料。
工业上，苯基氯硅烷一般采用直接法或热缩法合成。含苯基的烷氧基硅烷中间体，也 可以由伍尔茨反应制取。